Unterlegscheiben zur Entlüftung werden in Kombination mit Schrauben mit durchgehender Bohrung verwendet, um das rasche Ablassen von Gasen aus Gewindesacklöchern zu unterstützen. Die Unterlegscheiben werden häufig in Hochvakuum- (HV) und Ultrahochvakuum-(UHV)-Systemen eingesetzt, da ihre Schlitzlüftungsfunktion virtuelle Leckagen in Hochvakuumsystemen reduziert.
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